Tyhjiöpäällystyskoneen toimintaperiaate

Tyhjiöpäällystyskone on laite, joka levittää metallisia ohuita kalvoja substraatin pinnalle. Sen toimintaperiaate on jaettu kolmeen vaiheeseen: puhdistus, haihdutus ja saostus.
1. Puhdistus
Ennen haihdutuspinnoitusta haihdutuskammio on puhdistettava. Koska haihdutuskammion pintaan voi olla kiinnittynyt oksideja, rasvaa, pölyä ja muita aineita, ne vaikuttavat kalvon laatuun. Puhdistuksessa käytetään yleensä kemiallisia tai fysikaalisia menetelmiä.
2. haihtuminen
Haluttu materiaali kuumennetaan sulamispisteensä yläpuolelle siten, että se muodostaa kaasumaisia ​​molekyylejä. Kaasumaiset molekyylit poistuvat sitten tyhjiökammiossa haihdutuskammioon. Tätä prosessia kutsutaan haihdutukseksi. Lämpötila, paine ja haihtumisnopeus vaikuttavat kalvon koostumukseen, rakenteeseen ja ominaisuuksiin.
3. Laskeuma
Haihdutuskammiossa olevan materiaalin kaasumaiset molekyylit tulevat reaktiokammioon tyhjiöputken kautta, reagoivat aktiivisen materiaalin kanssa ja kerrostavat sitten tuotteen substraatin pinnalle. Tätä prosessia kutsutaan sedimentaatioksi. Lämpötila, paine ja kerrostumisnopeus vaikuttavat myös kalvon laatuun ja suorituskykyyn.
2. Sovellus
Tyhjiöpinnoituskoneita käytetään laajalti materiaalitieteessä, optiikassa, elektroniikassa ja muilla aloilla.
1. Materiaalitiede
Tyhjiöpäällystyskoneet voivat valmistaa ohuita kalvoja erilaisista metalleista, metalliseoksista, oksideista, silikaateista ja muista materiaaleista, ja niitä käytetään laajalti pinnoitteissa, optisissa kalvoissa, optisessa varastoinnissa, näytöissä, transistoreissa ja muilla aloilla.
2. Optiikka
Tyhjiöpäällystyskoneella voidaan valmistaa metalli- ja seoskalvoja, joilla on korkea heijastavuus, ja optisia kalvoja, joilla on erityistoimintoja. Näitä kalvoja voidaan käyttää aurinkopaneeleissa, korkean suorituskyvyn elektronimikroskopeissa, aerogeeleissä, UV/IR-antureissa, optisissa suodattimissa ja muilla aloilla.
3. Elektroniikka
Tyhjiöpäällystyskoneet voivat valmistaa nanomittakaavan elektronisia materiaaleja ja mikroelektronisia laitteita. Näitä kalvoja voidaan käyttää nanotransistoreissa, magneettisissa muisteissa, antureissa ja muissa kentissä.
Lyhyesti sanottuna tyhjiöpäällystyskoneella ei voi vain valmistaa erilaisia ​​ohutkalvomateriaaleja, vaan myös valmistella ohuita kalvoja, joissa on erityistoimintoja tarpeen mukaan. Tulevaisuudessa tyhjiöpinnoitusteknologiaa käytetään ja edistetään entistä laajemmin.